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上海尚瀾新能源科技有限公司

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三氟化氮

產(chǎn)品名稱:三氟化氮

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產(chǎn)品詳情

產(chǎn)品分類: 三氟化氮
名稱/化學(xué)式:三氟化氮/NF3
包裝規(guī)格:44L、17L
純度(%)及雜質(zhì)(ppm):99.99%

詳細(xì)參數(shù)

 

氣體標(biāo)識(shí)
名稱:nitrogen trifluoride 分子式:NF3
氣體物化特性

 

分子量 熔點(diǎn) 沸點(diǎn) 臨界溫度 臨界壓力 液體密度 氣體密度 CAS號(hào)
71.01 -206.8℃(1atm) -129℃(1atm) -39.3℃ 44.02atm(4.46MPa) 1554kg/m3(1atm沸點(diǎn)時(shí)) 2.95kg/m3(1atm 21℃) 7783-54-2

  

  包裝 Cylinder47L)送写、Bundle(16×47L)硅枷、Bundle(25×47L)旱婚、 Y-Cylinder(470L)、 ISO)

 

鋼瓶容積 鋼瓶型號(hào) 閥門 鋼瓶壓力 氣體質(zhì)量 危規(guī)號(hào) UN編號(hào) 包裝分類 包裝標(biāo)志
47L浙鞋、43.3L咙驾、40L、8L DOT-3AA驼卖、GB5099 CGA330氨肌、CGA640 9.0-13.0MPa 22kg、20kg酌畜、3.4kg 23016 2451 6

  

  儲(chǔ)存及運(yùn)輸
  三氟化氮?dú)馄繎?yīng)儲(chǔ)存于陰涼怎囚、通風(fēng)倉庫內(nèi)。三氟化氮?dú)馄繎?yīng)遠(yuǎn)離火種桥胞、熱源恳守、防止陽光直射,與還原劑贩虾、易燃或可燃物等分開存放催烘。
  三氟化氮?dú)馄吭诎徇\(yùn)時(shí)要輕裝、輕卸缎罢,防止鋼瓶及附件破損伊群。
  三氟化氮?dú)馄康倪\(yùn)輸按危險(xiǎn)品運(yùn)輸。運(yùn)輸時(shí)用氣瓶固定架將三氟化氮?dú)馄抗潭ê貌呔闷嚬愤\(yùn)輸或用輪船集裝箱運(yùn)輸舰始。
  泄漏應(yīng)急處理
  如遇有三氟化氮?dú)怏w泄露,工作人員要馬上撤離泄漏污染區(qū)求旷,并盡可能采取措施阻止三氟化氮?dú)怏w的進(jìn)一步泄露惶芒。如有工作人員中毒,應(yīng)立即送往醫(yī)院救治赊手。
  泄露現(xiàn)場(chǎng)要盡快處理赠搓,處理泄露現(xiàn)場(chǎng)的工作人員必須配戴必要的防毒面具,最好是自給正壓式呼吸器冯爷。泄露現(xiàn)場(chǎng)經(jīng)檢測(cè)無危害氣體后方可進(jìn)入工作人員迅督,泄露容器必須經(jīng)仔細(xì)檢查、維修或妥善處理好后方可繼續(xù)使用昆畜。
  三氟化氮?dú)怏w產(chǎn)品質(zhì)量標(biāo)準(zhǔn)(QJ58-2007)

 

雜質(zhì) NF3≥99.995% Vol.% NF3≥99.99% Vol.% NF3≥99.98% Vol.% NF3≥99.9% Vol.%
CF4 ≤20 Vol.ppm ≤40 Vol.ppm ≤100 Vol.ppm ≤500 Vol.ppm
N2 ≤5 Vol.ppm ≤5 Vol.ppm ≤10 Vol.ppm ≤50 Vol.ppm
O2+Ar ≤3 Vol.ppm ≤5 Vol.ppm ≤10 Vol.ppm ≤50 Vol.ppm
CO2 ≤1 Vol.ppm ≤5 Vol.ppm ≤10 Vol.ppm ≤10 Vol.ppm
H2O ≤1 Vol.ppm ≤1 Vol.ppm ≤1 Vol.ppm ≤1  Vol.ppm
酸份(以HF計(jì)) ≤1 Vol.ppm ≤1 Vol.ppm ≤1 Vol.ppm ≤1  Vol.ppm
SF6 ≤1 Vol.ppm ≤2 Vol.ppm ≤2 Vol.ppm ≤25 Vol.ppm
N2O ≤1 Vol.ppm ≤5 Vol.ppm ≤10 Vol.ppm ≤10 Vol.ppm
CO ≤0.5 Vol.ppm ≤5 Vol.ppm ≤10 Vol.ppm ≤10 Vol.ppm

 

 

主要用途

是用作氟化氫-氟化氣高能化學(xué)激光器的氟源,在h2-O2與F2之間反應(yīng)能的有效部分(約25%)可以以激光輻射釋放出将借,所HF-OF激光器是化學(xué)激光器中最有希望的激光器向瓶。三氟化氮是微電子工業(yè)中一種優(yōu)良的等離子蝕刻氣體,對(duì)硅和氮化硅蝕刻讽椿,采用三氟化氮比四氟化碳和四氟化碳與氧氣的混合氣體有更高的蝕刻速率和選擇性脱每,而且對(duì)表面無污染害唧,尤其是在厚度小于1.5um的集成電路材料的蝕刻中,三氟化氮具有非常優(yōu)異的蝕刻速率和選擇性忽孽,在被蝕刻物表面不留任何殘留物绑改,同時(shí)也是非常良好的清洗劑。用作高能燃料兄一。

工業(yè)化生產(chǎn)

要有兩條路線,一是合成法:將氟化氫銨在鎳制反應(yīng)器中加熱,氟氣厘线、氮?dú)夂桶蓖ㄟ^分布器進(jìn)入反應(yīng)器直接氟化反應(yīng)。二是電解法:在一定溫度下,電解熔融的氟化氫銨,電解過程中陽極產(chǎn)生三氟化氮,陰極產(chǎn)生氫氣出革。我國三氟化氮生產(chǎn)廠家的生產(chǎn)方法為上述兩種方法造壮。

 

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